晉城銻化物激光器芯片生產項目投入試運行

【簽約一批 開工一批 投產一批】新“芯”之光激活未來

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  不可思議。眼前米粒大小、薄如蟬翼的它,竟然能驅動發出太陽亮度同量級的光。“把它裝配到各類激光器上,就成為‘最快的刀’‘最准的尺’,廣泛運用到危險氣體檢測、環境監測、醫療與激光加工等諸多高新技術產業領域,千變萬化成各種神奇的力量。”
  走進位於晉城經濟技術開發區山西智創城NO.6的晉城市光機電產業研究院半導體項目研究中心展廳,聽著銻化物激光器芯片生產項目負責人崔鵬鵬的講解,參觀的人們不禁發出嘖嘖驚嘆。
  日前,由晉城市光機電產業研究院主導的銻化物激光器芯片生產項目完成多輪調試,投入試運行。“這是國內建成的第一條銻化物激光器芯片生產線,標志著我們科學家傾心研究的銻化物半導體技術開始邁向了產業化。”崔鵬鵬介紹說。
  銻化物是居於核心地位的第四代半導體材料,由它制成的激光器具有成本低、體積小、效率高、性能穩定、壽命長等優點,在極為苛刻的應用方面具有不可替代的獨特優勢。作為一項引領未來的核心技術,銻化物激光器的前景和市場空間十分廣闊,世界各國爭相研究,在發展應用上競爭激烈。
  近年,我國頂尖國家級科研團隊歷經10余年潛心研究,突破銻化物激光器核心工藝,成功研制出了中紅外波段高性能激光技術,綜合性能達到國際領先水平。去年8月,晉城市光機電產業研究院積極引進上述成果團隊,邁開了推動這一先進成果轉化落地的堅實步伐。
  “激光器芯片生產項目是我們合作落地的首期項目,承接科研團隊發明專利100余項,總投資8200萬元,總佔地8900多平方米。從開工建設到設備採購、人才招募,前后也就幾個月時間。”崔鵬鵬感慨地說,“這個效率讓專家們驚嘆不已,而吸引和推動項目快速落地的原因正在於我們培育起了推動光機電科技成果快速轉化的機制土壤。”
  作為晉城打造“世界光谷”的重要引擎,晉城市光機電產業研究院積極搭建“研究院+平台公司”的技術研發與成果轉化格局。先后聘請多位院士和教授專家組成專家委員會,引進一大批高端技術工程化人才,並設立100億元光機電產業引導基金,在人才、資金、服務上形成完善配套。研究院負責技術先導、平台承擔項目運作、基金主導資源整合,通過建立技術研發、成果轉化、項目孵化到產業化的整體運營模式,推動了“產學研用”深度融合,實現了光機電科技成果的快速轉化。
  “這是光刻間,這是工藝間,這是封裝間……”帶領記者走進光潔明亮的車間回廊,項目前段工藝工程師陳宇星一一介紹。“整個車間有1300多平方米,包含12個超淨車間,能完成從光刻、刻蝕沉積、P面電極到鍍膜、貼片、老化測試、光纖耦合等全部流程。”透過回廊玻璃看向車間內部,一台台高精設備前,“全副武裝”的工作人員正有條不紊、一絲不苟地緊張作業。
  “高精的技術加上高精的設備,還得有高精的操作。就像在一顆‘米粒’上‘雕龍刻鳳’,生產一支芯片可真是不簡單。”陳宇星告訴記者,經過前期反復地磨合運行,現在他們生產的成品芯片良率可與國際水平持平。正式投產滿負荷運行后,該項目將實現年產1萬支芯片的規模。
  “我們的銻化物激光器芯片需求很大。現在是試運行階段,已經有許多廠商前來洽談訂購。”談到應用和市場,晉城市光機電產業研究院副院長成磊介紹道,僅在礦井氣體檢測、環保和碳排放監測領域,激光器的市場規模就在百億級別以上。雖然國內生產激光器的廠商為數不少,但作為核心部件的激光器芯片,卻長期依賴進口。
  “因此,我們項目的意義不僅僅是在經濟效益上,更將有效滿足國家重大戰略需求,有力牽引拓展第四代半導體的應用和產業鏈條,推動光機電產業實現突破發展,引領我們搶佔先機、擁抱未來。”成磊激情滿滿地說。

本報記者王天曉

(責編:王丹)

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